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1、根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。每次测定时间隔不应大于３０min。
2、洁净室内测定布置：
3、送回风口处；
4、恒温工作区具有代表性的地点（如沿着工艺设备周围布置或等距离布置）；
5、没有恒温要求的洁净室中心；
6、测点一般应布置在距外墙表面大于０.５m，离地面０.８m的同一高度上；也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。
6.1测点数应符合表的规定。
表温、温度测点数
波动范围 | 室面积《50m2 | 每增加20~50m2 |
Δt=±0.5~±2℃ | 5个 | 增加3~5个 |
ΔRH=±5℅~±10℅ | ||
Δt≤±0.5℃ | 点间距不应大于2m，点数不应少于5个 | |
ΔRH≤±5℅ | ||
6.2有恒温恒湿要求的洁净室。室温波动范围按各测点的各次温度中偏差控制点温度的最大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线。如９０％以上测点偏差值在室温波动范围内，为符合设计要求。反之，为不合格。
洁净室区域温度以各测点中最低的一次测试温度为基准，各测点平均温度与超偏差值的点数，占测点总数的百分比整理成累计统计曲线，９０％以上测点所达到的偏差值为区域温差，应符合设计要求。相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。
